在幾十年發展歷程中，集成電路的飛速發展推動社會現代化程度跨越式提升，深刻影響了現代人類的思維方式和生活習慣。電子計算機技術的發展加速人類社會進入信息化時代，集成電路科學一定程度上成了人類科技大發展的基礎。
隨著5G、人工智能、物聯網、自動駕駛等新興技術的產業化加速，芯片需求量隨之激增。半導體質量控制貫穿集成電路制造全過程，保證芯片性能與生產良率。隨著先進制程和復雜工藝的使用，工藝環節不斷增加，行業發展對工藝控制水平提出了更高的要求，制造過程中量測設備與檢測設備的需求量倍增。
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從細微之基 做崇高之業
微崇于2021年3月成立，是由領先的海歸半導體設備技術團隊發起，與中國資深工程師和科學家團隊共同建立一個，立足于非線性光學晶圓檢測技術的世界先進半導體公司。微崇致力于研發最先進的半導體檢測技術，生產先進的半導體檢測設備。
行業介紹
Industry
Introduction
微崇產品
Aspiring Product
ASPIPER 3000
非線性光學晶圓缺陷檢測系統
ASPIRER 3000非線性光學晶圓缺陷檢測系統可以提供晶圓級別的缺陷檢測，對界面及膜層質量進行綜合測試分析，提升各類制程的良率。獨有的非線性光學技術配合自主研發的檢測系統可提供超高的檢測靈敏度，并對有、無圖案晶圓均有良好的適用性。ASPIRER 3000機臺可滿足客戶在研發和量產中對晶圓質量的快速、無損、精準檢測需求。
- 產品特點
- 非接觸、無損傷
- 快速檢測
- 在線檢測
- 軟件操作便捷
- Wafer Map等多樣化表征手段
- 主要應用
- 各類成膜工藝質量的監控
- 各類生產工藝機臺穩定性的監控
- 刻蝕等工藝對晶圓損傷的檢測與監控
- 離子注入及退火工藝的質量監控
- 清洗等工藝質量的監控
BRAVERY 3000
光調制反射晶圓檢測系統
BRAVERY 3000 是具有巨大市場價值的新型晶圓缺陷檢測設備，其采用光調制反射技術，可實現對晶圓的非接觸、無損傷、在線、快速、內部檢測，精準診斷與定位晶圓缺陷，該產品對有/無圖案晶圓均適用，可填補當前國內市場離子注入工藝非接觸檢測設備的國產化空白，實現晶圓注入質量特性檢測量產化。
- 產品特點
- 非接觸非破壞性
- 有/無圖案晶圓皆適用
- 可作為在線檢測設備
- 無需測前與測后處理，超快檢測速度
- 軟件檢測操作簡單
- 可自動生成wafer map等可視化數據
- 主要應用
- 各種離子注入及退火工藝的質量監控
- 刻蝕等工藝對晶圓損傷的質量監控
- 產品優勢
- 自研產品，可定制化
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